西安無塵車間防靜電是必要的辦法,由於靜電會吸附的粉塵、汙物造成元器件毀壞,電擊人體等損害,現在,西安無塵車間來說說無塵潔淨室的靜電操控辦法。
1、無塵潔淨室靜電操控的基本原則
(1) 確定靜電操控等級
(2)盡量削減靜電荷的發生
(3) 泄放和中和的辦法加速靜電荷散失,避免靜電積累
(4)保護產品不受ESD的損壞
2、確定無塵潔淨室靜電操控的等級
(1)元器件、組件和設備靜電靈敏度分級
1級:易遭受0-1999V靜電電壓損壞的
2級:易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的
3級:易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的
而靈敏靜電壓大於16000V的,便不必采納防靜電辦法。
(2)靜電防護工作區的分級
A級:允許對地靜電電位不超越±100V
B級:允許對地靜電電位不超越±1000V
實踐無塵室工程中是分靜電電位不超越100V、500V、1000V等對應元器件、組件和設備靜電靈敏電壓的3級。
3、盡量減小靜電荷的發生
這是操控靜電三步曲的第一步,在這淨化工作環境中,最好的辦法:
(1)盡量選用性質類似器件,削減在接觸衝突分離過程中發生靜電電荷;
(2)盡量選用導靜電型或靜電耗散型資料的器件,削減接觸衝突分離過程發生積累靜電荷;
(3)盡量選用削減接觸衝突分離而發生靜電荷的生產流程。
4、泄放和中和
西安無塵車間這是操控靜電三步曲的第二步,在微電子生產的淨化室中最通常的辦法是接地,選用導電性或耗散性資料泄放靜電荷,以及離子化消電器中和靜電荷。
5、避免ESD,保護產品
這是操控靜電的三步曲中最終一步。在微電子生產的淨化室中,為阻撓ESD發生在靜電靈敏元器件或組件、PCB上。一種辦法是對元器件和組件提供合適的接地或分路以“散失”掉產品上存在的靜電荷;另一種辦法是用恰當的包裝辦法和資料來處理靜電靈敏器件的包裝和輸運。這些資料可有效地屏蔽電荷侵入產品以及削減產品在包裝箱中移動而發生靜電荷。
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